【桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟】财联社6月3日电，美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外（EUV）光刻装置，并结合新型三维纳米打印技术，将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟，进一步降低了半导体芯片制造门槛。研究团队表示，除芯片制造外，该技术还有望应用于纳米药物、量子计算和新材料合成等领域。相关研究发表于新一期《纳米快报》。
桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟
更新时间 2026-06-03来源 财联社正文 176字阅读约 1分钟
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