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有点数View·数字经济工作室原创
编 辑 | 程 栋

他帮中国芯片产业提速20年
他被称为“中国芯片教父”、“芯片领域的钱学森”,还有人说他一个人把中国大陆的芯片产业提速了20年。
对于这些盛赞,他本人并不认可。
从他的实际行为来看,他更像是国产半导体领域的“另类”:
行业普遍认为芯片制程越先进越好,他却认为成熟制程才是关键;
行业普遍认为芯片产业要做到“大而全”才能实现自立自强,他提出面面俱到不如“小而美”,在细分领域突围才是真正的突围之道;
行业普遍认为芯片产业最稀缺的人才是高学历工程师和学术带头人,他坚持最稀缺的是芯片车间里的一线工人……
他,就是成长在中国台湾、成名于美国、报效大陆的张汝京。

张汝京
从1950年代开始,中国集成电路产业,一直依赖进口芯片。据人民日报报道,2006年,芯片进口额首次超过石油,成为中国进口额最大的商品。
芯片,成了新时代的“数字石油”。
张汝京后半生要做的事,就是推动中国大陆的“数字石油”自给自足。
为此,他舍弃了巨额财富,承受各方势力打压,70多岁高龄仍奔走在产业一线。
他的故事,不应该被遗忘。
10座工厂,被严重低估的难度
多年以后,面对台积电创始人张忠谋,张汝京将会想起他进入德州仪器的那个遥远的下午。
他二人之间的纠葛,乃至海峡两岸半导体产业之间的纠葛,源头都可以回溯到“全球半导体产业的皇甫军校”——美国德州仪器。全球多家晶圆、模拟芯片龙头创始人,都从这里走出。
1977年,29岁的张汝京进入德州仪器时,后来创立台积电的张忠谋已经是德州仪器副总裁。当时的张汝京,初出茅庐,还不足以引起张忠谋的重视,更不会让张忠谋产生“围剿”的念头。
在德州仪器工作期间,张汝京做的最亮眼的工作是“建厂”。他带领团队,在美国、日本、中国台湾、意大利、新加披等国家地区,一共建设运营了10座半导体工厂。
关于芯片,最吸睛的故事,往往集中在哪个国家突破了几纳米的先进制程。建厂,听起来就是盖个厂房,似乎没什么难度,其真实价值很容易被低估。
张汝京对于芯片产业的价值,同样也容易被低估。
事实上,放眼全球,配得上芯片领域“建厂专家”的人,凤毛麟角。因为,建芯片厂,需要解决一系列近乎苛刻的工程难题。
首先是水,芯片厂用的水,是超纯水,电阻率要达到18.2 MΩ·cm,这是25℃下水的理论极限电阻率。超纯水的用量也很吓人,一座芯片厂的用水量,相当于一座5—10万人的城市。
其次是电,一座先进制程芯片厂用电量达到百兆瓦级,相当于一座百万人口城市用电量。而且,芯片厂对电的稳定性要求特别高,一旦电压掉到额定值的50%、持续200毫秒,炉子里的一批晶圆就废了。

资料来源:ASML
另外,光刻机对工作环境洁净度的要求也很“变态”,每立方米空气中0.1微米以上的颗粒不超过10颗;中高端光刻机对环境震动的要求是不超过3.1微米/秒。
要满足这一系列“极端”要求,就要围绕芯片厂配备超纯水厂、稳定的电力系统、复杂且昂贵的化学过滤系统,并通过机械隔离把工厂建在足够稳的桩基上。
即便这些条件都满足了,也未必能成功验收。
自动搬运天车在头顶穿行、风机全部满负荷、工艺泵和真空系统同时运转,这些都会对环境带来干扰。

夜间测出来达标,不代表白天也能达标。静态时达标,不代表投产时也达标。
张汝京的工作就是把这几乎不可能完成的工程,变成现实。
上述难题,只要钱砸到位,不计成本,是可以解决的。
而真正“卡脖子”的难题,是有钱也无法解决的——时间。
半导体行业有个著名的“摩尔定律”:当价格不变时,集成电路上可容纳的晶体管的数量,约18—24个月增加一倍,性能也提升一倍。
建芯片厂,就是一场和时间赛跑的生意。跑慢了,就会面临“建成即落后”的尴尬处境。
问题是,建一座芯片厂,动辄需要几十个月。
其中,变数最大的环节不是建厂房、安装调试设备,而是“车间工人”。
一座月产10万片12英寸晶圆的芯片厂,通常要配备3000—5000名工程师和操作人员。干这一行,最需要经验。
经验无法凭空诞生,车间一线工人动辄需要半年以上培训和实践,找到“手感”,良品率才能一步步爬坡。
全球专门从事芯片厂工程设计公司Exyte表示,一座晶圆厂,从打下第一根桩,到生产出第一批合格芯片,美国需要38个月,欧洲需要34个月,新加坡、马来西亚需要23个月。
中国台湾,由于许可流程简化且能做到全天候施工,也需要大约19个月。
张汝京在德州仪器20年,真正攒下来的能耐,不是他能高效建厂、调试设备,而是他“压缩时间”的能力。
不久后,他将在大陆上演一出“建厂奇迹”。
13个月建一座厂,速度奇迹
为德州仪器效力期间,张汝京帮很多国家地区建了芯片厂,却没有一座属于中国大陆。
父亲临终前,希望他回大陆建芯片厂。故土情怀,让他把父亲的话记在了心里。
早在1989年,德州仪器据决定在中国台湾建厂时,张汝京就提议招聘中国大陆工程师来台培训,为未来在大陆建厂储备人才。由于台湾当局阻挠,此事只能作罢。
1992—1994年,张汝京在新加披建芯片厂时,得到新加坡政府允许后,在中国大陆前后招聘了约300人。后来,张汝京在上海创立中芯国际,新加坡工厂有数十人追随。当然,这是后话。
总之,回大陆建厂的念头已经产生,离开德州仪器,只是时间问题。
按照德州仪器的规定,工作满20年可以提前退休。1997年,达到条件的张汝京,办理了退休。

此时,他被两拨人同时盯上了,就此陷入人生的“漩涡”。
一拨人来自无锡。
1990年,国家把代号908的工程,押注在了无锡。计划投资20多亿,目标是建成一条6英寸、月投产2万片、0.8—1微米的芯片生产线。
当时国内缺乏建厂经验,光是经费审批就用了2年,关于要不要引进美国AT&T的0.9微米技术问题上,又用了3年。等到1997年建成,这条产线只能做到月投产6000片、0.9微米的芯片。
当时,海外主流厂商,已经在发力0.25微米制程。
也就是说,这条线投产即落后。无锡方面,需要一个人把这条产线救活。
同一时间,中国台湾“势大根深”的中华开发信托公司,也盯上了张汝京。
中华开发准备出资成立一家芯片公司,想让张汝京来管理。这家公司,就是后来让张汝京和张忠谋充满“恩怨纠葛”的世大积体电路公司。
建芯片厂靠的不是单打独斗,而是团队作战。
出于种种考虑,张汝京一边在中华开发挂了职衔,一边带领中国台湾的团队,来到大陆帮无锡改造芯片生产线。
回到大陆后,除了把无锡的芯片厂从0.9微米磨到0.8微米,再磨到0.5微米,张汝京对无锡芯片厂最大的改变是,重塑了其商业模式:
无锡厂原本是从设计、生产、品牌全包的IDM模式,一旦国际政策调整产品卖不动,就全盘停滞;张汝京把908国有工程,改成了合资公司,把IDM改成了代工。
这一系列动作,让无锡华晶上华半导体有限公司活了下来。
无锡这边刚稳住阵脚,1998年2月台湾当局的限令就来了,张汝京和他带出去的团队,必须撤出大陆。
他回去之后,接手的那家公司就是世大。
台积电成立于1987年,世大成立于1996年,比台积电晚了近10年。然而,在张汝京手中,世大很快就成为了中国台湾第三大晶圆代工厂,成为行业公认的“潜力股”。
面对这样的后起之秀,台积电是什么态度?
砸钱,买它!
2000年,台积电以50亿美元价格,收购了估值仅6亿美元的世大,这是一个让所有股东都心动的交易。
考虑到今后世大可以接入台积电技术体系、股东们也满意,张汝京同意了收购。他只提出了一个条件:
世大的第三家工厂,要放在大陆。
然而,收购之后,对于自己提出的条件,张忠谋似乎“失忆”了。
也是在2000年,张汝京做出一个最不计成本的决定:辞职。
张忠谋并不想放这样的人才前往中国大陆,就拿收购世大时承诺给张汝京的台积电股票做筹码:
辞职,你的股票就没了。

面对足以让他实现财富自由的股票,张汝京态度很坚决:我不要了。
离开台湾,他先去了“美国管制相对宽松”的香港。时任特首态度很积极,愿意给地、给政策。
但是,当张汝京提出工程师要给3班倒的员工建宿舍时,香港地产商不乐意了。此事,只能作罢。
此后,张汝京又辗转多地,一直没有找到敢拍板的人。毕竟,建芯片厂,需要巨额投资,风险太大。
直到他走到上海,碰到一群懂半导体、有魄力的领导班子,要将他做得这件事列为当地头号产业工程。
2000年8月1日,“中国技术第一芯”的中芯国际,正式动工。
时年53岁的张汝京,一腔壮志,极力招揽新加坡、中国台湾、美国等公司的技术骨干,仅仅用了13个月,就跑通了从打地基到量产的全流程。
这位“建厂高手”,重新定义了建厂周期。他还用自己的人脉大量收购低价二手设备,重新定义了建厂成本。
当时,全球能建芯片厂的人,不止张汝京一人。能不顾一切、带着自己的班底、争分夺秒、精打细算在大陆建厂的人,只有张汝京。

中芯国际的诞生,将大陆芯片芯片制程首次推进到纳米级,触摸到国际先进制程。
只是,让很多人没想到,张汝京亲手创办的中芯国际却“容不下”他自己。
70岁创业,向天再借五百年
要说张汝京对中国大陆芯片产业的贡献,可以说前无古人。
2001年,中芯国际要进口0.18微米的产线设备,美国方面不放。张汝京就飞往美国,依靠个人人脉,游说美国五大教会为他做人格背书,担保中芯国际的产品只用于商业用途,而非军事用途。
美国方面,才出具了出口许可。
此举,直接把把中国大陆芯片制造与国际最先进水平的差距,从三到四代缩到一代。
正因如此,有媒体称,张汝京以一己之力把中国大陆的芯片产业提速了20年。
从0.18微米到0.13微米,再到90纳米、65纳米,中芯国际每往上走一步,就得重新申请一次出口许可,重新被审一次。
张汝京都要再一次去美国四处求人。
求人之所以有效,是张汝京在创立之初,就把中芯国际的股权结构设计得十分松散,各国股东持股比例都不高,只看股权结构,很难看得出中芯国际究竟属于哪个国家。
即便已经做到这个程度,就安全了吗?
中芯国际在国际环境中越安全,对海峡对岸的台积电来说,威胁就越大。

2003年12月,台积电及其北美子公司宣布,已以多项专利侵权、窃取商业秘密为由,将中芯国际起诉,索赔10亿美元。
当时,中芯国际一年的营收才3.6亿美元。
台积电不是要中芯国际赔钱,而是要它死。
台积电财大气粗,耗得起。萌芽期的中芯国际,耗不起。
官司拖了一年多,2005年1月30日,中芯国际宣布双方达成和解,中芯国际在未来6年内向台积电支付总数1.75亿美元的专利授权权利金。
拿了钱,台积电会善罢甘休吗?
2006年8月,台积电再次起诉中芯国际,理由是违反2005年的和解协议。
中芯国际否认,并在美国加州和北京两地对台积电发起反诉。
对此,张汝京有句话很值得玩味:
每当我们突破难关或进入发展关口,台积电都会给我们来这么一下。
这场官司打了3年多。双方再一次和解,这次和解的代价更大:
中芯国际4年内向台积电支付总额2亿美元;
台积电拿到中芯国际约10%的股份;
最让人寒心的和解条件是——张汝京必须要离开中芯国际。
而且,根据竞业协议,张汝京3年内不得从事集成电路行业。

2009年,离开中芯国际时,张汝京已经61岁。离开前,他平静地告诉曾经并肩战斗的同事:
不要认为这是人生中很大的失败,不要被打趴下。
离开中芯国际之后,他转身进入LED行业——和芯片技术相通,又不违反竞业协议。
直到2014年,熬过竞业协议期限,66岁的张汝京,在上海创办新昇半导体,他又重新回到芯片产业。
这一次,他做的是产业链最上游、也最容易被忽略的一环:
硅片。
芯片是刻在硅片上的。40—28纳米集成电路所需要的12英寸大硅片,几乎被日本、德国企业垄断,中国大陆长期以来进口。
新昇半导体承担了“国产替代”的历史使命。
2017年,新昇的硅片顺利通过40—28纳米客户的认证,任务完成。69岁的张汝京,再一次辞职了。
当年,他在无锡没有做成的IDM,他想换个方式把它实现了。
2018年4月,70岁的张汝京,在青岛创立芯恩,开启了新的历史使命:
启动了国内首个CIDM集成电路项目。
CIDM意思是协同式集成电路制造。1992年,他在新加坡建的厂,用的就是这个模式。
其实,当时中国最缺的是IDM模式,就是一家公司从头做到尾,做产品、做方案。但IDM门槛很高,光设计工程师就是几千人的规模,国内很难拉起这样的队伍。
张汝京的办法是,把设计公司请进来当股东,你有设计能力,我有厂,产能按股分配。这就是CIDM模式。
张汝京之所以没有执着于最先进制程的芯片,关于此事,后来他在一次专访中说得很直白:
以产品数量而论,先进制程的市场占比不足20%,超过80%的市场来自成熟制程与特色工艺赛道。
关于国产芯片的突围,他认为大厂看不上、利润也比较可观的“小而美”领域,才是真正值得投入的突围方向,比如医疗设备的超声芯片、航空航天的抗辐射芯片、工业机器人的伺服驱动芯片等。
芯恩的存在,一定程度上可以帮助国产芯片突围。
2021年8月,芯恩宣布八英寸厂投片成功,良率超过90%。然后,张汝京再一次离开了。

2022年,他来到上海积塔半导体。积塔做的是汽车电子芯片和IGBT这类车规功率器件,正是过去几年国内最紧的一类芯片。
这块战场,急需张汝京这样的产业老将。
尽管,此时的他,已经74岁。
40多年外求,30年回家路
张汝京1948年出生于南京,父亲给他起名“汝京”,就是告诉他“你生于南京”。
1岁时,他随父母来到中国台湾。他虽然成长于海峡对岸,父亲母亲对大陆的思念,让他对海峡对岸的大陆,产生浓浓的乡愁。
1995年,47岁的张汝京,受邀回大陆演讲。当看到贵州贫困学生的状况,他在正安县碧峰乡捐了第一所希望小学。此后又在贵州、云南、四川、甘肃等地陆续捐了约二十所。
或许从那时起,他就意识到,自己对这片土地爱得深沉。
他一生最拿得出手的本事是建芯片厂,后来他想尽一切办法、动用自己的一切资源,为大陆建厂,为大陆一项项补齐半导体产业的短板。
他还想把自己的能力传承下去,他在青岛大学出任终身名誉院长和讲席教授,受聘上海电机学院特聘教授。清华大学出版社还出版过他编著的《半导体产业背后的故事》和《纳米集成电路制造工艺》。
关于他为什么一定要回大陆建厂,他是这么说的:我生下来就是中国人,回国报效何须理由。
张汝京说他很喜欢《我的中国心》这首歌:
流在心里的血
澎湃着中华的声音
就算生在他乡也改变不了
我的中国心
THE END







