你手里的OLED手机屏幕，出厂前要被“印”上十几遍，每一遍，都得有一张玻璃底片。
底片的“白纸”叫空白掩模版：一块高纯石英玻璃，表面起伏要磨到0.2纳米以内，相当于头发丝直径的三十万分之一，相当于把一座城市的起伏压平到一张纸的厚度，最终用于屏幕或芯片制造，成为货架上智能产品的组成部分。
然而，这种工艺要求极高的产品，长期被日、韩等少数厂商把持，是我国光刻产业链上游最突出的“卡脖子”环节之一。
近日，成都中科卓尔智能科技集团有限公司完成数亿元B+轮融资，要把这张“白纸”，从中试线推向量产线。
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一张玻璃，有多难
据公开资料，这轮融资由中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联和川流投资共同参与，金额“数亿元”，其中中银国际投资是连续两轮出手。
中科卓尔方面介绍，空白掩膜版在表面制作图案后称为掩膜版，掩膜版直接用在光刻机中将图案转移到晶圆上。该产品主要出货用于制作显示行业i线和g线光刻制程的掩膜版。空白掩模版是光刻工艺的“母版”，其基板的纯度、平整度及缺陷控制水平，直接决定光刻图形转移的质量与芯片良率。
长期以来，高端石英空白掩模版及核心制造装备被少数国外厂商垄断，是我国光刻产业链上游最突出的“卡脖子”环节之一。
中科卓尔创始人杨伟曾对硬科技媒体“硬氪”表示，“依赖进口设备的产线存在停摆风险”，并指出“现有光刻技术路线下，掩模版作为关键材料仍有约10年的不可替代周期”。
国内下游光刻掩模版客户对稳定、安全、自主可控供应链的需求，从未如此迫切；在国家科技自立自强战略与国产替代进程全面提速的大背景下，谁能率先实现高端石英空白掩模版的自主量产，谁就能为我国半导体产业链补上这块关键拼图。
难关至少有三道：抛光、镀膜、检测，中科卓尔已攻克了国家35项“卡脖子”关键技术中的超精密抛光与真空镀膜技术，是国内极少数同时构建“核心材料+关键工艺+智能制造”全产业链闭环的国家级高新技术企业与国家专精特新“小巨人”企业。
中科卓尔方面表示，本轮融资将重点用于高端石英空白掩模版的核心工艺研发深化与量产产线建设：一方面，加快超精密抛光、真空镀膜等核心装备与工艺结合的自主迭代；另一方面，进一步打通从材料检测、精密抛光、真空镀膜到智能制造的全链条能力，加速推进公司从技术验证向规模化量产的跨越，全力满足国内下游光刻掩模版客户对稳定、安全供应链的迫切需求。
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走的是一条不好走的路
这家公司2018年成立，依托中科院光电所团队。2022年6月21日，它的中试线在双流屏芯智能制造基地开工，占地8000平方米，当时规划年产值过亿元，并称建成后将成为国内唯一高端石英掩模版基板核心设备与产线全国产化的制造企业。2025年10月，获评国家级专精特新“小巨人”企业认定。
融资已来到B+轮，数亿元也不是小数字，技术虽然啃下来不少，但从实验室到产线，投入有时候超出想象。成都银行今年9月披露，一年前，这家企业已攻克三大工艺、通过国内头部光罩厂验证，却因中试线扩容和原材料备货的资金缺口，一度放慢量产步伐。成都银行用“高知贷”“股债通”两款政策性产品，将专利、技术、人才价值转化为银行认可的信用资产，为企业打通关键环节的资金“堵点”。
它走的是一条不好走的路。国内多数同行是“进口设备+工艺引进”，中科卓尔则坚持核心工艺装备自主研发，“工艺‘Know-how’，自主沉淀”。这意味着公司不受“引进一代、落后一代”的路径锁定，也不会在攻坚量产的关键时刻遭遇装备断供。
川流投资方面表示，中科卓尔已越过“技术验证”阶段，正处于量产拐点，自主装备支撑下的扩产节奏可控，下游客户验证顺利推进，坚定看好公司从“卡脖子”破局者走向规模化供应商的跨越。
0.2纳米，是中试线上的数字；真正的考卷，是在产线上，每一片、每一批，都得做到“头发丝直径的三十万分之一”。
一旦做到，那个“卡脖子”环节，才算真正地被撬开一道缝。
编辑丨欧鹏
记者丨王拓
图据中科卓尔
