
有投资者向晶盛机电(300316.SZ)提问,公司有CPO光芯片晶圆制造设备,是否也有CPO的检测设备?
9月18日,公司回答表示,在芯片制造端,公司12英寸减压外延设备依托精准温场流程控制技术,实现高精度硅基薄膜沉积工艺,具备稳定性强、均匀性优异、缺陷可控等技术优势,可满足硅光器件的外延工艺需求,现已实现销售出货并取得重要客户复购;目前公司业务不涉及CPO检测设备领域。

有投资者向晶盛机电(300316.SZ)提问,公司有CPO光芯片晶圆制造设备,是否也有CPO的检测设备?
9月18日,公司回答表示,在芯片制造端,公司12英寸减压外延设备依托精准温场流程控制技术,实现高精度硅基薄膜沉积工艺,具备稳定性强、均匀性优异、缺陷可控等技术优势,可满足硅光器件的外延工艺需求,现已实现销售出货并取得重要客户复购;目前公司业务不涉及CPO检测设备领域。
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