1984年成立的ASML，最初是飞利浦和ASM International各出一半的合资尝试。
飞利浦从1970年代就在研发晶圆步进式光刻设备，机器把掩模上的微小图形逐步投到晶圆上。原研发团队约50名相关工程师里有47人选择加入，早期办公地点是靠近飞利浦的一间漏雨棚屋。
1984年推出PAS 2000，1986年与德国光学企业蔡司建立合作。
到1988年，客户仍有限，ASM决定退出，飞利浦又遭遇行业低迷启动大规模削减开支。
1970年代，飞利浦已经投入研发晶圆步进式光刻设备，把掩模上的微小图形逐步投射到晶圆上。
研发成果看起来有前景，商业化却需要大量资金，还要全球销售、售后服务和与芯片厂共同迭代。
当时市场已有实力雄厚的设备公司，飞利浦曾考虑与大型美国设备企业合作。谈判迟迟没有结果。
另一边，荷兰企业家Arthur del Prado创办的ASM International希望把产品线做得更完整。
飞利浦内部有人觉得ASM规模太小，担不起光刻系统的复杂性，最终双方在1984年成立ASM Lithography，也就是ASML的前身。
新公司接收了原有研发团队，约50名相关工程师中有47人选择加入，从大型集团相对稳定的岗位走向这家新企业。
早期办公和扩张条件有限，ASML的历史档案特别提到靠近飞利浦的漏雨棚屋。
1984年ASML推出PAS 2000，随后逐步改进定位和对准技术。
1986年与德国光学企业蔡司建立合作关系，为后来的光学系统能力打了底。
设备业务的销售周期很长，芯片制造商不会轻易把昂贵生产线押在一家尚不成熟的小企业上。
到1988年，ASML仍然客户有限，自己撑不住经营，合资伙伴ASM决定退出。
飞利浦遭遇行业低迷启动大规模削减开支，资金和订单之间的时间差几乎把公司逼入绝境。
ASML随后依靠持续的产品改进、合作伙伴以及芯片制造商的认可逐渐站稳。
光刻机需要超精密机械、光学、控制软件和工艺服务一起工作。单家公司包不下全部能力。供应商和客户的长期协作越来越要紧。
今天先进光刻设备的门槛极高，ASML常被当作欧洲工业技术的样本。
回到1984年，它缺客户、缺资金，也险些失去股东。核心设备的竞争要跨公司、跨国界地磨几十年。先过商业化这一关。
