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英飞凌完成12英寸碳化硅功能器件制造

更新 2026-11-11TechSugar正文 1836字阅读约 6分钟
11月10日,半导体大厂英飞凌科技对外宣布,已经在奥地利菲拉赫(Villach)晶圆厂完成 12 英寸碳化硅晶圆的工艺加工,以及可以产出具备完整功能的功率组件。这也让英飞凌成为全球首家,在全尺寸半导体晶圆厂环境中完成这一创新成果的企业,为碳化硅功率器件向更大尺寸、更高规模制造演进夯实基础。
复用硅产线打造12英寸SiC制造方案
本次取得的功能性功率组件成果核心亮点在于,英飞凌直接依托成熟的硅基制造设备完成加工,无需从零搭建一套完全独立的产线体系。这样的工艺路径,能够充分利用英飞凌已有的晶圆制造资产,降低产线新建带来的资本投入与投产周期压力。
与菲拉赫前道晶圆制造同步推进的,还有德国德累斯顿厂区在衬底环节的技术验证。厂区已经确认Cold Split冷切割技术适配12英寸碳化硅晶圆的可行性。区别于传统线锯切割方式,冷切割工艺在碳化硅晶棒分离晶圆的过程中,可以大幅削减材料损耗,压缩单批次加工耗时。同一根碳化硅晶棒能够产出更多可用晶圆,从上游衬底端改善物料利用率,为后续规模化扩产打下基础。两套工艺的协同落地,让英飞凌可以跟随市场需求弹性调整碳化硅产能,构建起更灵活的扩产节奏。
英飞凌执行长Jochen Hanebeck表示,这项技术里程碑进一步巩固了英飞凌在功率系统领域的领导地位。在功率半导体赛道保持领先,需要持续推动技术迭代升级;依托硅、氮化镓,以及本次落地的12英寸碳化硅晶圆技术,英飞凌将拥有扩大制造规模、拉动业务盈利增长的差异化优势。
12英寸相较8英寸,规模效率实现跃升
当前碳化硅行业的主流制造载体仍以8英寸晶圆为主,12英寸路线的落地,最直观的价值体现在单片产出效率的提升。更大的晶圆直径,让一片12英寸晶圆能够产出的芯片数量达到8英寸的2.3倍,分摊到每一颗器件上的制造工时、设备折旧、洁净室运维成本随之下降。
对于车规级、储能这类对器件需求量庞大的市场而言,单片产出的提升意味着产能爬坡速度更快,在下游需求持续走高的阶段,能够更好地承接订单,稳定交付节奏。而这套基于现有硅设备兼容加工的思路,也和单纯扩产8英寸产线形成区分,不是简单增加产线数量,而是从晶圆尺寸维度打开碳化硅器件的成本下行空间,支撑碳化硅从高端细分方案逐步走向更大范围的普及。
12英寸碳化硅落地,重塑功率半导体供给格局
这项突破不只是英飞凌自身产品矩阵的升级,也会对整个宽禁带功率半导体行业带来深远影响。长期以来,碳化硅受制于衬底成本高、良率爬坡难度大等因素,规模化供给一直是产业痛点。12英寸工艺的打通,搭配冷切割衬底减损方案,从衬底制造到晶圆前道加工形成一套完整的增效链路,为行业证明大尺寸碳化硅量产路线具备可行性。
同时,这项进展也是英飞凌12英寸宽禁带战略的延伸。就在不久前,英飞凌刚刚宣布投入约11亿欧元,在菲拉赫厂区建设12英寸氮化镓功率半导体量产产线。如今碳化硅顺利完成12英寸功能器件验证,代表英飞凌把12英寸制造策略拓展到第二种宽禁带材料。放眼全球,能够同时掌握硅、碳化硅、氮化镓三类核心功率半导体材料制造能力的厂商并不多,双条12英寸宽禁带路线并行,进一步拉开其在功率器件赛道的制造壁垒。
从硅到碳化硅,再到氮化镓,英飞凌的12英寸布局正在覆盖不同功率半导体材料体系。SiC面向高压、高温和大功率场景,GaN则在高频、高功率密度电源领域具备优势,而硅基器件仍是成熟应用的基础。多种材料并行推进,使英飞凌能够根据市场需求灵活配置产能和技术路线。
碳化硅材料特性与广阔的能源转换市场
碳化硅作为面向高效能源转换的核心宽禁带材料,拥有区别于传统硅器件的物理优势。它拥有更低的功率损耗、更高的功率密度,同时可以承受更高的工作电压与运行温度,适配各类对能效、耐温耐压有着严苛要求的电力电子场景。
在已经成熟落地的赛道里,碳化硅广泛应用于电动车与新能源逆变器、车载充电机、直流充电桩、大型储能电站、工业电机驱动以及不间断电源系统等领域。伴随算力基础设施的快速扩张,碳化硅的应用边界还在持续向外延伸,逐步进入固态变压器、高压断路器、数据中心电源单元等新架构之中,支撑数据中心供电链路的能效升级。
结语
在全球能源转型、电气化持续推进的大背景下,电力电子系统的能效指标持续收紧,碳化硅器件的市场需求持续走高。英飞凌本次12英寸碳化硅晶圆的技术突破,正是对准产业长期的供货压力与降本诉求,依托制造端的创新,持续释放碳化硅在新能源、汽车、算力基础设施等领域的价值,助力电力电子系统向着更高能效、更高功率密度持续演进。
文章标签应用落地算力

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