作为基础惯性传感器,陀螺仪广泛应用于消费电子产品、汽车及航空航天领域的旋转测量,而应用最广泛的陀螺仪,均基于科里奥利效应工作。
芯片级科里奥利振动陀螺仪备虽尺寸小、重量轻、成本低,但其性能远逊于传统宏观尺度CVG,究其根本,微芯片中固有的科里奥利效应较弱,而布朗噪声显著,这就限制了微型化陀螺仪的灵敏度上限。
5月20日,国防科技大学、南方科技大学、日本理化学研究所、华东光电集成器件研究所、湖南师范大学组成的研究团队在《Nature》期刊上发表题为“Cusp-singularity-enhanced Coriolis effect for sensitive chip-scale gyroscopes”(用于高灵敏度芯片级陀螺仪的尖点奇点增强科里奥利效应)的研究论文,Sen Zhang为论文第一作者。Fei Wang、Franco Nori、Hui Jing、Xin Zhou为论文共同通讯作者。

本研究首次将尖点奇点物理引入芯片级科里奥利陀螺仪,成功突破传统微型陀螺仪的灵敏度天花板。实验结果显示,该技术使科里奥利因子提升了3个数量级,信噪比提高了253倍,精度提高了297倍。此外,尖点奇点还实现了高灵敏度调相亚线性测量,创下硅基芯片陀螺仪信噪比性能纪录。
可见,本研究不仅推动了陀螺仪技术迭代,填补了奇点增强科里奥利效应观测与调控领域的空白,还为超高灵敏度传感应用提供了新方向。

被科里奥利因子锁死的性能天花板
想必陀螺仪大家应该都耳熟能详。无论是我们常用的智能手机导航,还是汽车的车身稳定系统,亦或是无人机的自主飞行、导弹的精确制导、航天器的深空探测等,陀螺仪都无处不在。它的使命,就是精准测量物体在空间中的旋转角度和速度。
其中,基于科里奥利效应的陀螺仪应用最为广泛。那么,究竟什么是科里奥利效应呢?
当一个物体在旋转参考系中运动时,由于惯性而产生的运动轨迹偏转现象,这就是科里奥利效应。芯片级振动陀螺仪(CVG),就是通过检测在旋转时微小的机械振动变化来判断角速度的。
但是,科里奥利因子却成为工业界和学术界研究的“拦路虎”。科里奥利因子主要是衡量有多少质量真正参与了科里奥利效应。
这里我们可以看看传统的宏观陀螺仪,比如航天级半球谐振陀螺仪(HRG),体积比较大,虽然科里奥利因子不高,但信号本身够强,能压住噪声。
与之相比,芯片级陀螺仪体积缩小之后,问题也随之而来。最明显的问题是,由分子热运动引起的背景杂音,也就是微小谐振器的布朗噪声会变得特别突出,很容易就把微弱的旋转信号淹没了。
更甚者,陀螺仪内部的科里奥利因子,其理论最大值被限制在1以内,牢牢把微小旋转信号的放大上限给限制了。
这也印证了小标题中所提到的,芯片级陀螺仪被“科里奥利因子”锁死了性能天花板。多年来,科学家们也在不断尝试,优化设计、改进电路、应用新算法等等,但始终无法突破这个极限。

尖点奇点放大科里奥利效应
本研究的创新之处是引入了突变理论中的尖点奇点。
尖点奇点是物理系统中某些参数发生微小变化时,会引起性质突变的临界点。在尖点奇点附近,系统会对微小变化产生巨大响应,这就好比是我们熟知的“蝴蝶效应”。
不过,如果尖点奇点能够在陀螺仪的物理系统中得以实现,就能绕过科里奥利因子的限制,实现灵敏度的大幅提升。
具体来看,研究团队基于传统双振动模态结构,主动引入可控的“刚度耦合”,通过相位跟踪控制,在振动频率域精准构建出尖点奇点。

图:概念原理图
在传统模式下,陀螺仪的振动轨迹是标准圆形,输出信号随旋转线性变化。相比之下,尖点奇点附近的振动轨迹发生变化,变为特殊椭圆混合模态,此时系统进入亚线性响应区。基于此,科里奥利效应引发的响应变化,不再是常规的线性关系,直接转变为一种立方根关系。
通俗点说,线性响应就是旋转输入增大10倍,输出信号也增大10倍。而立方根响应则是旋转输入增大1000倍,输出信号才增大10倍。反过来看,在测量极其微小的角速度时,同样的背景噪声下,立方根响应能输出比线性响应大得多的有用信号。
这些数据说明什么呢?这说明,在尖点奇点附近,系统对外部微扰变得极其敏感,对微弱旋转的“感知能力”被极大锐化了。
这就足以证明,上述的奇点增强机制确实可以打破科里奥利因子的上限束缚,其可以把原本微弱的科里奥利信号放大数百倍,同时还能有效抑制布朗噪声的干扰。

自研芯片验证
研究团队基于一个直径4mm的硅基盘形谐振器,自主研发芯片级陀螺仪原型验证上述猜想。
研究团队将上述谐振器放在一个温控转台上,可以精确控制旋转速度。为了实现尖点奇点,研究团队还在谐振器周围设计了离轴调谐电极。通过改变加在这些电极上的直流电压,就可以连续调节刚度耦合的大小。
实验分为开环和闭环两步。开环测量用来绘制完整的频率响应曲面,验证尖点奇点确实存在。闭环测量则用锁相环实时跟踪相位,把振荡频率锁定在稳定分支上,这样就能直接读出旋转引起的频率变化。

图:奇点实验验证
实验结果显示,当研究人员在奇点附近施加极其微小的角速度时,测量到的系统振荡频率变化,清晰呈现出“立方根”标度律。计算可知,有效科里奥利因子最高达594,而该芯片自身固有的极限因子仅,0.588,提升幅度超1000倍,直接打破了物理极限的天花板。
与常规工作模式相比,在频率测量模式下,尖点奇点操作使得陀螺仪的信噪比降低了253倍,精度提升了297倍。

图:频率调制性能
更亮眼的结果来自相位测量模式。研究发现,相位信号本身对芯片固有的频率漂移不敏感,且其噪声特性更优,在尖点奇点附近,零偏不稳定性达到了0.035度/小时,角度随机游走低至0.00036度/√小时。

图:相位调制性能

未来往哪走
当然,这项技术目前仍处于实验室验证阶段,距离真正的商业化还需要时间。
但是,研究团队通过相位跟踪控制,在机械振荡系统中创造了尖点突变,随后利用三阶奇点实现了亚线性灵敏度增强。这个思路不仅限于陀螺仪,还可以推广到加速度计、重力仪、磁场传感器,甚至引力波探测等超高灵敏度传感领域。
事实上,传感器领域饱受小型化与高性能之间的矛盾困扰,因此,这条新路也是值得关注的。







