青田恒韧科研型CD-SEM如何突围

青田恒韧在其展位展出了科研型CD-SEM产品、离线版图像分析软件及CD量测测试服务。

产线CD-SEM量测的，是大量版图一致的标准晶圆；科研客户需要量测的，却可能是少量标准晶圆、碎片、裂片，或厚度超过几毫米的键合片，也可能是硅基、铌酸锂基、玻璃基等各种的材质；所以产线的需求和科研的需求是不一致的。全球第一家提出“科研型CD-SEM”概念的青田恒韧，把CD-SEM做成一套电镜附件装进扫描电镜，满足科研领域的CD-SEM需求——这家成立四年多的创业公司，凭什么在CD-SEM这个“天花板级难题”里找到自己的位置？带着这些疑问，我们专访了赵伟芳博士，为业内读者揭秘。

以下访谈内容根据现场采访整理，作不改原意编辑。

赵伟芳：我们带来的是两个产品加一个服务。产品一是科研型CD-SEM，把CD-SEM的功能浓缩成一套电镜附件，可以像能谱仪一样装在现有扫描电镜的扩展口上，既保留了高压SEM观测功能，又实现完整的低压CD-SEM量测功能；产品二是离线版CD-SEM图像分析软件，把底层的CD-SEM算法移植出来，客户拿着扫描电镜图像就能直接测量，还能与产线结果对标反馈。

一个服务则是面向科研客户的CD量测测试业务，客户把样品交给我们，我们按照客户要求完成CD量测测试。

赵伟芳：产线CD-SEM的量测对象是规格完全一致的晶圆，需大批量跑量测，一次很多片。但科研客户的量测对象有所不同，可能只有几片wafer，甚至只是一些裂片。2025年我们调研市场时发现，中试线、小型晶圆厂、高校和科研院所的需求与产线的需求是有差异性的：要兼容4寸、6寸、8寸，还要能测小片、裂片，厚度可能因为键合而超过几毫米，材质可能是硅基、铌酸锂基、玻璃基等。

市场调研及客户反馈得出，还没有设备厂商做这样的产品，我们由此提出“科研型CD-SEM”概念，成为全球第一家做这件事的公司。

赵伟芳：我们最初也考虑过做一整套技术方案，但从商业角度看，客户要的是性价比。客户实验室里多数是已配备扫描电镜的，我们决定把CD-SEM做成一套软硬件附件装在电镜的扩展口上，从而为客户提供一套性价比更优的解决方案。尽管我们称之为一套“附件”，但在扫描电镜给定的框架里做新产品，难度并不小，我们的研发人员涉及到软件、算法、机械、电控等多个技术领域。辩证地看问题，在现有电镜上做开发的好处也很直接：电镜本体已经过长期的验证，只要本体稳定，我们的产品稳定性就大幅提升了；同时客户成本也能大幅降下来。

赵伟芳：我们也是首次创业，经验匮乏，走了不少弯路。做CD-SEM，本质上就是“造电镜”和“用电镜”两件事。公司2022年4月成立，最初两件事都想做；到2025年4月成立三周年复盘时，我们做了产品和技术路线的转型：研制科研型CD-SEM，不需要造电镜，聚焦在用电镜。

赵伟芳：我们目前能够实现20纳米级的量测，我们实测的重复性（3σ）达到0.2纳米以下，也就是±1%以内。目前大多数客户的需求集中在150纳米左右的量测。我们更多还是尽可能满足客户需求，跟着客户走。

赵伟芳：主要还是依靠产品本身，通过落地DEMO验证方案，同时做到快速响应。目前我们已经服务了近十家DEMO客户。合作的科研老师专业功底深厚、严谨细致，在DEMO打磨过程中，我们也收获了老师们大量宝贵的指导意见。

赵伟芳：支撑过来无非两端：资金端和客户端。

赵伟芳：在整个半导体设备里，检测是国产化率最低的环节之一，而CD-SEM在检测类设备里国产化率更低，大概率是最后被突破的几个设备之一。

赵伟芳：术业有专攻，我们会在科研型CD-SEM这个细分领域内做精做细。这个市场空间有限，对我们公司的自身定位来说刚刚好。